(北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院 光学工程系, 北京 100089)
TP212
国防基础科研计划项目(JCKY201601C006).
(Dept. of Optical Engin., School of Instrumentation and Optoelectronic Engin., Beihang University, Beijing 100089, CHN)
高山,冯丽爽,周震,邓柯柯.一种低交叉轴灵敏度微米光栅加速度计设计[J].半导体光电,2020,41(1):11-14. GAO Shan, FENG Lishuang, ZHOU Zhen, DENG Keke. Design of Micro-grating Accelerometer with Low Cross-axis Sensitvity[J].,2020,41(1):11-14.
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