(长春理工大学 跨尺度微纳制造技术教育部重点实验室, 长春 130022)
TP391
吉林省科技发展计划项目(20190302076GX);长春理工大学青年科学基金项目(XQNJJ-2018-09).
(Changchun University of Science and Technol., National Key Lab. for Cross-Scale Micro and Nano Manufacturing of the Ministry of Education, Changchun 130022, CHN)
李成超,于占江,李一全,许金凯,于化东.微小零件显微检测图像的清晰度评价[J].半导体光电,2020,41(1):103-107, 113. LI Chengchao, YU Zhanjiang, LI Yiquan, XU Jinkai, YU Huadong. Sharpness Evaluation of Microscopic Detection Image for Micro Parts[J].,2020,41(1):103-107, 113.
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