基于P型高阻硅衬底的背照CCD图像传感器
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重庆光电技术研究所

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Back-illuminated CCD Image Sensor Based on P-type High Resistivity Silicon Substrate
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Chongqing Optoelectronics Research Institute

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    摘要:

    设计并研制了一款基于P型高阻硅衬底的背照CCD图像传感器,器件有效阵列规模为6144×256元,像素尺寸为15μm×15μm,器件采用了非光敏区大面积P阱设计,改善了基于P型高阻硅衬底CCD放大器特性,器件放大器线性工作区从优化前16.0V~16.5V扩展至10.0V~14.0V,直流增益从优化前0.50提升至0.85;器件采用了可见、近红外波段背照减反射膜设计,器件在400nm~750nm波长范围内平均量子效率优于85%,在900nm近红外波长量子效率可至43%;器件采用了非推结复合能量硼注入工艺设计,器件在复合光照下MTF优于0.40。

    Abstract:

    A CCD image sensor based on P-type high resistivity silicon substrate is designed and developed. The effective array size of the device is 6144×526 pixel, and the pixel size is 15 microns ×15 microns. The device adopts the non-photosensitive area P-well injection design, which improves the characteristics of the CCD amplifier based on P-type high-resistance silicon substrate. The linear working area of the device amplifier is extended from 16.0V ~ 16.5V before optimization to 10.0V ~ 14.0V, and the DC gain is increased from 0.50 to 0.85 before optimization. The device uses visible and near-infrared backillumination antireflection film design, the average quantum efficiency of the device is better than 0.85 in the wavelength range of 400nm ~ 750nm, and the quantum efficiency can reach 0.43 in the near-infrared wavelength of 900nm. The device is designed by non-impalntation composite energy injection technology, and the MTF of the device is better than 0.40 under composite light.

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  • 收稿日期:2023-07-26
  • 最后修改日期:2023-07-26
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