Ag/AZO/Ag肖特基 UV PDs光电特性模拟研究
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作者:
作者单位:

(兰州交通大学电子与信息工程学院,兰州 730070)

作者简介:

张彩珍(1972—),女,甘肃省临洮县人,博士,教授,主要研究方向为新型半导体材料及器件。

通讯作者:

中图分类号:

TN364. 2

基金项目:


Simulation Study on Photoelectric Characteristics of Ag/AZO/Ag Schottky UV PDs
Author:
Affiliation:

(School of Electronic and Information Engineering,Lanzhou Jiaotong University,Lanzhou 730070,CHN)

Fund Project:

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    摘要:

    ZnO薄膜质量是影响 Ag/ZnO肖特基 UV PDs性能的主要因素,Al掺杂可改善薄膜质量从而提高器件性能。为进一步研究 AZO材料参数对 Ag/AZO/Ag肖特基 UV PDs性能的影响,文章通过 Silvaco TCAD仿真平台模拟器件光电特性,并研究了 AZO薄膜厚度及掺杂浓度对器件性能的影响。结果表明,Ag/AZO/Ag肖特基 UV PDs光电流为 5. 12×10.6 A,响应度为 0. 41 A/W,比探测率为 1. 72×1010 Jones,外量子效率为 147. 4%;较 Ag/ZnO器件分别提高了 260%,180%,148%,176%。当 AZO薄膜掺杂浓度约为 1×1017 cm.3、厚度为 0. 3~0. 5 μm时,器件综合性能较好。

    Abstract:

    The quality of the ZnO film is a key factor determining the performance of Ag/ ZnO Schottky ultraviolet photodetectors(UV PDs). Al doping can improve the quality of the ZnO film,thereby enhancing the performance of the device. To further investigate the influence of AZO material parameters on the performance of Ag/AZO/Ag Schottky UV PDs,this study employed Silvaco TCAD simulation software to evaluate the influence of AZO film thickness and doping concentration on the device performance. The results show that the photocurrent of the Ag/AZO/Ag Schottky UV PDs is 5. 12×10.6 A,the responsivity is 0. 41 A/W,the specific detectivity is 1. 72×1010 Jones, and the external quantum efficiency is 147. 4%, which are respectively 260%,180%,148%,and 176% higher than those of the Ag/ZnO devices. When the doping concentration of the AZO film is approximately 1×1017 cm.3 and the thickness is 0. 3~0.5 μm,the device performance is improved.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

张彩珍,沈玲琴,胡彤. Ag/AZO/Ag肖特基 UV PDs光电特性模拟研究[J].半导体光电,2026,47(4):651-656. ZHANG Caizhen, SHEN Lingqin, HU Tong. Simulation Study on Photoelectric Characteristics of Ag/AZO/Ag Schottky UV PDs[J].,2026,47(4):651-656.

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  • 在线发布日期: 2026-08-25
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