CdTe单晶准分子激光表面改性及应用
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作者:
作者单位:

(1.安徽大学物质科学与信息技术研究院,合肥 230601;2.中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所,合肥 230031;3.中国科学技术大学,合肥 230026)

作者简介:

江港(2000-),男,河南省内乡县人,硕士研究生,主要研究方向准分子激光表面改性研究;王时茂(1980-),男,博士,副研究员,主要从事激光与物质相互作用和新型半导体辐射探测材料与器件的研究工作。

通讯作者:

中图分类号:

TN215

基金项目:

量子光学与光量子器件国家重点实验室(山西大学)开放课题项目(KF202304).


Surface Modification and Application of CdTe Single Crystals Through Excimer Laser
Author:
Affiliation:

(1. Institutes of Physical Science and Information Technology,Anhui University,Hefei 230601,CHN;2. Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics,Hefei Institutes of Physical Science,Chinese Academy of Sciences,Hefei 230031,CHN;3. University of Science and Technology of China,Hefei 230026,CHN)

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    摘要:

    为提升半导体 γ射线探测器的能量分辨率,文章基于表面态调控及肖特基势垒形成原理,在臭氧氛围下利用 KrF准分子激光对 CdTe单晶进行表面辐照,成功在 Au/CdTe界面构筑了肖特基接触。通过 I.V特性测试证实了接触类型的转变,X射线光电子能谱分析表明激光处理诱导表面生成氧化层,有效钝化表面缺陷并抑制漏电流。经激光改性的 Au/CdTe/Au肖特基结型探测器对 241Am 59. 5 keV γ射线的能量分辨率达 16. 73%,显著优于未处理器件的 33. 20%。

    Abstract:

    To enhance energy resolution in semiconductor γ -ray detectors,this study employs ozone-atmosphere KrF excimer laser irradiation on the surface of CdTe single crystals based on the principle of regulating Schottky barrier formation through surface states. This process is found to result in the successful establishment of a Schottky contact at the Au/CdTe interface. I.V characteristic measurements confirmed the transformation of contact type. X-ray photoelectron spectroscopy analysis indicated that laser treatment resulted in the formation of an oxide layer on the surface. This oxide layer effectively passivates surface defects and suppresses leakage current. The laser-modified Au/CdTe/Au Schottky junction detector achieved an energy resolution of 16. 73% for 241Am 59. 5 keV γ -rays, significantly exceeding the 33. 20% resolution of the untreated device.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

江港,朱志成,黄昌保,倪友保,孟钢,王时茂. CdTe单晶准分子激光表面改性及应用[J].半导体光电,2026,47(4):675-680. JIANG Gang, ZHU Zhicheng, HUANG ChangbaO, NI YoubaO, MENG Gang, WANG ShimaO. Surface Modification and Application of CdTe Single Crystals Through Excimer Laser[J].,2026,47(4):675-680.

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  • 收稿日期:2026-03-12
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  • 在线发布日期: 2026-08-25
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