(江南大学 1.机械工程学院; 2.江苏省食品先进制造装备技术重点实验室,江苏无锡 214122)
葛茗轩(2001-),男,硕士研究生,主要研究方向为飞秒激光加工碳化硅烧蚀形貌的影响机理研究;董淑宏(1988-),男,江苏省连云港市人,副教授,博导,主要研究方向为锂电池用真空镀膜设备研发。
TN249
(1. School of Mechanical Engineering;2. Jiangsu Key Laboratory of Advanced Food Manufacturing Equipment and Technology,Jiangnan University,Wuxi 214122,CHN)
葛茗轩,董淑宏.熔融流动对多脉冲飞秒激光加工 SiC烧蚀形貌的影响[J].半导体光电,2026,47(4):681-689. GE Mingxuan, DONG Shuhong. Mechanism of Molten Flow on the Ablation Morphology of SiC Irradiated by Multi-Pulse Femtosecond Laser[J].,2026,47(4):681-689.
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