锗基InAs量子点激光器的腔面失效及再生的研究
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

国家“973”计划项目(2014CB643902); 国家自然科学基金项目(61334004, 61404152); 国家自然科学基金创新群体项目(61321492)


Study on Cavity Surface Damage and Recovery of Ge-based InAs QD Lasers
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    围绕锗基InAs量子点激光器,开展了激光器腔面失效及再生的研究。研究并分析了灾变性光学镜面损伤产生的机理及其对激光器腔面的影响,开展了腔面再生研究,发展了一套创新性的腔面再生工艺并实现了失效的锗基InAs量子点激光器的再生。根据锗基InAs量子点激光器材料结构设计腐蚀工艺,通过选择性腐蚀在激光器腔面制备出悬臂结构,采用细针解理使悬臂结构自然解理,获得新的激光器谐振腔面,失效激光器重新工作。对比了激光器失效前和再生后的工作性能,结果表明因灾变性光学镜面损伤而失效的锗基InAs量子点激光器获得全新的谐振腔面,锗基激光器器件性能和失效前相当。

    Abstract:

    Focused on Ge-based InAs QD lasers, influence of catastrophic optical damage (COD) on InAs QD lasers was investigated. Based on the study, a new process for cavity surface recovering of edge emitting lasers damaged by COD was presented, thus the InAs quantum dot laser on Ge damaged by COD was restored successfully. The corrosion process was designed according to material structure of Ge-based InAs quantum dot laser, and cantilever structure was prepared on the laser cavity surface by using selective corrosion. By using fine needle cleavage, the cantilever structure was naturally cleavaged, thus a new laser resonant cavity surface was obtained, and the failure laser was reactivated. The performance of the lasers before failure and after regeneration was compared, and it indicated that the Ge-based InAs quantum dot lasers which are disabled by catastrophic optical damage obtain new cavity surface. And the performance of Ge-based laser devices is almost the same before and after failure.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2016-03-31
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期: 2017-02-21
  • 出版日期:

漂浮通知

①《半导体光电》新近入编《中文核心期刊要目总览》2023年版(即第10版),这是本刊自1992年以来连续第10次被《中文核心期刊要目总览》收录。
②目前,《半导体光电》已入编四个最新版高质量科技期刊分级目录,它们分别是中国电子学会《电子技术、通信技术领域高质量科技期刊分级目录》(T3)、中国图象图形学学会《图像图形领域高质量科技期刊分级目录》(T3)、中国电工技术学会《电气工程领域高质量科技期刊分级目录》(T3)和中国照明学会《照明领域高质量科技期刊分级目录》(T2)。
③关于用户登录弱密码必须强制调整的说明
④《半导体光电》微信公众号“半导体光电期刊”已开通,欢迎关注