MEMS半球谐振陀螺的角速度积分及其FPGA设计
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国家自然科学基金项目(61574093); 中国航天科技创新基金项目CASC(11GFZ-JJ01-309); 教育部新世纪人才资助计划项目(NCET-10-0583); 科学基金项目(2013ZC57003); 预研基金项目(9140A14010511JW0304); 国家重点实验室基金项目(9140C790405110C7904)


Design of MEMS RIG with Hemispherical Resonator and its FPGA Platform
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    摘要:

    微电子机械系统(MEMS)半球谐振陀螺是MEMS微陀螺领域的研究热点,能工作在角速度积分模式下,具有体积小、质量轻、功耗低、成本低、对称性高、Q值高,以及精度高等优点。文章给出了一种微型半球谐振陀螺的结构,研究了其工作原理以及检测方法,设计了一种数字式MEMS半球谐振陀螺仪的角速度积分工作模式方案及其FPGA实现方法,以完成目前MEMS半球谐振陀螺的角速度积分模式的控制与检测工作。

    Abstract:

    The MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) HRG(Hemispherical Resonator Gyroscope) as a kind of MEMS gyroscopes is a research hotspot, which can work in the RIG (Rate-Integrating-Gyroscope) mode. The emergence of MEMS gyroscopes has produced sensors with smaller size, lower cost, lighter weight, less consuming power, high symmetry, high Q-factor and high accuracy than previous solutions. In this paper, the structure of a MEMS HRG was proposed and the working principles and detection methods were studied. In order to accomplish the work of control and detection of MEMS RIG mode for MEMS HRG, a digital scheme for the MEMS RIG with hemispherical resonator was developed and a FPGA platform was designed.

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  • 收稿日期:2016-06-20
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  • 在线发布日期: 2017-03-13
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