原位显微拉曼测温系统的设计及实现
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:

上海市科委项目(14DZ1203700);


Structural Design and Construction of Temperature Measurement System Based on In-Situ Microscopic Raman
Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    拉曼光谱仪是一种常用的光学分析手段,目前国内市场上存在许多小型的便携式拉曼光谱仪,虽然操作简单,但光谱分辨率及探测范围有限。文章设计并搭建了一台具有显微原位测温功能的大型拉曼光谱仪系统,测试结果表明,系统能够探测的波数范围为-6 000~325cm-1、275~6 000cm-1,光谱分辨率可达到0.7cm-1。将其与已经商业化的便携式拉曼光纤探头对比,对标准样品硅片及其他样品的测试结果表明:该系统具有更高的信噪比及灵敏度,对激发光、杂散光的滤除效果更优,能够探测到样品的反斯托克斯拉曼信号,具有原位探测样品表面温度的能力。

    Abstract:

    Raman spectrometer is a commonly used optical analysis means, and there are many kinds of small portable Raman spectrometer in domestic market. Although the operation is simple, the spectral resolution and detection range are limited. In this paper a microscopic Raman spectrometer was designed and built, which can detect the temperature of the sample in suit. The results show that the wavenumber can be detected in the range of -6 000~325 cm-1 and 275~6 000 cm-1, and the spectral resolution can reach 0.7 cm-1. Compared with the commercially available portable Raman fiber probe, the test results of the standard sample silicon and other samples show that the prototype has better signal to noise ratio and a higher sensitivity, the filtering of excitation light and stray light is better. The system can detect the anti-Stokes Raman signal of the sample, and it has the ability to test the surface temperature of the sample in situ.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:2017-05-18
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期: 2017-12-28
  • 出版日期:

漂浮通知

①《半导体光电》新近入编《中文核心期刊要目总览》2023年版(即第10版),这是本刊自1992年以来连续第10次被《中文核心期刊要目总览》收录。
②目前,《半导体光电》已入编四个最新版高质量科技期刊分级目录,它们分别是中国电子学会《电子技术、通信技术领域高质量科技期刊分级目录》(T3)、中国图象图形学学会《图像图形领域高质量科技期刊分级目录》(T3)、中国电工技术学会《电气工程领域高质量科技期刊分级目录》(T3)和中国照明学会《照明领域高质量科技期刊分级目录》(T2)。
③关于用户登录弱密码必须强制调整的说明
④《半导体光电》微信公众号“半导体光电期刊”已开通,欢迎关注